特點：

緊湊型模塊，集成控制電子器件

動態調節，響應時間短

質量流量控制器 (MFC)

工作介質：空氣、氧氣、惰性氣體、氮氣

采用壓電技術，功耗極低

靜音：適用于移動應用和近距離的應用

通過螺紋直接安裝

優勢：

得益于集成的低噪音壓電技術、極小的能耗與緊湊的尺寸，可用于移動應用。

與電磁閥不同，采用壓電技術的比例閥由于其電容原理在保持主動狀態時幾乎不耗電。

壓電閥的工作原理與電容類似：只有在給壓電陶瓷充電啟動時才需要電流。

保持狀態不需要消耗更多能源，因此，該閥不會發熱。